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    無塵烘箱/干燥箱

    產品簡介

    無塵烘箱/干燥箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。

    產品型號:
    更新時間:2025-02-21
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:1689
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    品牌其他品牌價格區間面議
    儀器種類其他產地類別國產
    應用領域醫療衛生,環保,食品,化工,生物產業

    無塵烘箱/干燥箱產品介紹:
    無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。
    產品特點:
    1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class100
    2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
    3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避
    免烘烤時產生PARTICLE;
    4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
    產品用途:
    無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
    無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
    無塵烘箱/干燥箱產品參數:
    1、箱體結構:
    1.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
    1.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
    1.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
    1.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生PARTICLE;
    1.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
    2、溫控系統
    2.1采用日本OMRONE5A型溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。;
    2.2訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。
    2.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
    3、完善的安全保護措施:
    漏電斷路器
    控制線路保險絲裝置
    超溫防止保護裝置
    電熱過電流保護裝置
    馬達過電流保護
    機臺異常蜂鳴器警示
    逆向防止器
    門面安全開關
    4、選購設備:
    4.1可程式溫控器
    4.2六點溫度記錄儀
    4.3三色指示燈
    4.4烘烤架

    名稱及型號

    無塵烘箱WCHX-2D

    無塵等級

    Class100

    溫度范圍

    60~+300℃

    溫度均勻度

    200℃±3℃、300℃±4℃

    溫度波動度

    ±0.5℃(空載)

    溫控精度

    ±0.1℃

    電源

    380v,50Hz,12Kw

    烘箱擱板為活動形式

    兩箱式

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